2023年中國(guó)掩膜版行業(yè)市場(chǎng)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)分析 行業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加速【組圖】

行業(yè)主要上市公司：清溢光電(688138);路維光電(688401);中芯國(guó)際(688981);華宏半導(dǎo)體(01347)等

本文核心數(shù)據(jù)：中國(guó)掩膜版行業(yè)國(guó)內(nèi)外企業(yè)原材料技術(shù)對(duì)比;全球主要掩膜版原材料公司布局現(xiàn)狀;中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠自給率情況

國(guó)內(nèi)外掩膜版領(lǐng)域技術(shù)對(duì)比

掩膜版的主要原材料為掩膜基板，即涂有光阻和鍍鉻的玻璃基板。掩膜基板的質(zhì)量，對(duì)掩膜版產(chǎn)品最終品質(zhì)具有重大影響。我國(guó)掩膜版行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)已在光阻粘度調(diào)整優(yōu)化、光阻膜厚及均勻性?xún)?yōu)化等方面取得了大量的成果，并成功將其應(yīng)用到G11、G8.5、G8.6高世代掩膜版產(chǎn)品中，實(shí)現(xiàn)了國(guó)內(nèi)掩膜版行業(yè)在高精度、大尺寸光阻涂布技術(shù)上零的突破及對(duì)產(chǎn)業(yè)鏈上游技術(shù)的成功延伸，一定程度上縮小了與國(guó)外領(lǐng)先企業(yè)的差距。具體原材料技術(shù)對(duì)比情況如下：

再?gòu)难谀ぐ婕夹g(shù)布局來(lái)看，半導(dǎo)體掩膜版技術(shù)壁壘高，工藝難度大，長(zhǎng)期被美國(guó)福尼克斯等國(guó)外的龍頭企業(yè)所壟斷。以路維光電為例，路維光電在超大尺寸平板顯示用掩膜版的生產(chǎn)能力方面打破了國(guó)外廠商的長(zhǎng)期壟斷，但與國(guó)外先進(jìn)技術(shù)相比仍存在一定差距，主要體現(xiàn)在光刻、顯影、蝕刻等工藝的細(xì)節(jié)上。

核心技術(shù)主要掌握在國(guó)外廠商

目前，中國(guó)只有少數(shù)廠商具備上游基材生產(chǎn)能力，大多數(shù)掩膜版企業(yè)主要采用采購(gòu)掩膜版基材的方式。

根據(jù)路維光電招股說(shuō)明書(shū)，公司所需原材料中，高世代石英基板及光學(xué)膜的供應(yīng)商集中于日本、韓國(guó)，目前國(guó)內(nèi)暫無(wú)供應(yīng)商可提供替代品，因此原材料存在一定的進(jìn)口依賴(lài)。全球主要掩膜版原材料公司布局情況如下：

掩膜版相關(guān)材料自給率保持較低水平

隨著近年來(lái)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和顯示面板產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，國(guó)內(nèi)光刻膠生產(chǎn)商在這些細(xì)分市場(chǎng)的供給量較小，需求主要依賴(lài)于進(jìn)口，目前，6英寸硅片的g/i線(xiàn)光刻膠的自給率約為20%;8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠尚沒(méi)有國(guó)內(nèi)企業(yè)可以大規(guī)模生產(chǎn)?？梢钥闯?，在高端光刻膠市場(chǎng)，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)是明顯處于供小于求的狀態(tài)的。

國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)分析

總體來(lái)看，美國(guó)修訂《出口管理?xiàng)l例》將250nm及以下制程的掩膜版納入限制清單，而國(guó)內(nèi)晶圓廠多不具備掩膜版生產(chǎn)能力，國(guó)產(chǎn)替代確定性強(qiáng)，預(yù)計(jì)未來(lái)將有更多龍頭企業(yè)加快生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)投入，盡快實(shí)現(xiàn)掩膜版國(guó)產(chǎn)替代。

更多本行業(yè)研究分析詳見(jiàn)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院《中國(guó)掩膜版（光刻掩膜版）行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測(cè)與投資戰(zhàn)略規(guī)劃分析報(bào)告》。

同時(shí)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院還提供產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、園區(qū)規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)招商、產(chǎn)業(yè)圖譜、智慧招商系統(tǒng)、IPO募投可研、IPO業(yè)務(wù)與技術(shù)撰寫(xiě)、專(zhuān)精特新小巨人申報(bào)、十五五規(guī)劃等解決方案。

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