2023年中國掩膜版行業(yè)技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢分析 無掩膜版光刻技術(shù)成為新興發(fā)展方向【組圖】

行業(yè)主要上市公司：清溢光電(688138);路維光電(688401);中芯國際(688981);華宏半導(dǎo)體(01347)等

本文核心數(shù)據(jù)：中國掩膜版行業(yè)生產(chǎn)工藝流程圖;中國掩膜版行業(yè)關(guān)鍵技術(shù)分析;中國掩膜版行業(yè)上市企業(yè)科研投入力度

掩膜版生產(chǎn)工藝流程圖

掩膜版的生產(chǎn)有14道工藝，有圖形設(shè)計、圖形轉(zhuǎn)換、圖形光刻、顯影、蝕刻、脫膜等環(huán)節(jié)。具體生產(chǎn)工藝流程圖如下：

掩膜版關(guān)鍵技術(shù)分析

從掩膜版關(guān)鍵技術(shù)布局來看，主要包括光刻技術(shù)、顯影蝕刻技術(shù)、防微震技術(shù)以及光阻涂布。其中光刻是掩膜版制造的重要環(huán)節(jié)，主要的技術(shù)分為激光直寫法和電子束直寫法。

國內(nèi)掩膜版技術(shù)投入有所加強(qiáng)

從我國掩膜版相關(guān)上市企業(yè)的科研投入情況來看，在研發(fā)投入力度上，華潤微的研發(fā)投入金額數(shù)量較大，2020年來保持在5億元以上，主要系企業(yè)產(chǎn)品布局較多，除掩膜版外，在傳感器、集成電路等產(chǎn)品布局廣泛，研發(fā)投入項目較多，金額較大。整體來看，我國掩膜版行業(yè)上市企業(yè)的研發(fā)投入力度保持增長態(tài)勢。從研發(fā)投入強(qiáng)度來看，掩膜版行業(yè)上市企業(yè)的研發(fā)投入強(qiáng)度保持在4%以上，除路維光電逐年下降外，行業(yè)整體研發(fā)投入強(qiáng)度呈上升趨勢，一定程度反映行業(yè)內(nèi)企業(yè)對科研投入的重視程度有所提高。

注：路維光電未披露2018年數(shù)據(jù)，下同。

掩膜版新興技術(shù)布局

從我國掩膜版技術(shù)發(fā)展趨勢來看，無掩膜版光刻技術(shù)是降低光掩模不斷飛升的一個潛在解決方案，是一種有前途的候選光刻技術(shù)。但其還處于一個發(fā)展早期的階段，有待解決的技術(shù)問題還很多。近期內(nèi)可能只是一個細(xì)分的光刻技術(shù)，不能替代主流的DUV和EUV光刻技術(shù)，但其較低的成本將使其在未來繼續(xù)受到關(guān)注。

更多本行業(yè)研究分析詳見前瞻產(chǎn)業(yè)研究院《中國掩膜版（光刻掩膜版）行業(yè)發(fā)展前景預(yù)測與投資戰(zhàn)略規(guī)劃分析報告》。

同時前瞻產(chǎn)業(yè)研究院還提供產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)研究報告、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、園區(qū)規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)招商、產(chǎn)業(yè)圖譜、智慧招商系統(tǒng)、IPO募投可研、IPO業(yè)務(wù)與技術(shù)撰寫、專精特新小巨人申報、十五五規(guī)劃等解決方案。

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